成都DLC涂层的主要性能

1、力学性能
硬度及弹性模量：不同的沉积方法制备的 DLC涂层硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极 电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的 DLC涂层，用阴极电弧法制备的DLC涂层硬度可达 50GPa 以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的 DLC膜硬 度达 21GPa。涂层内的成分对膜层的硬度有一定的影响， Si、N 的掺入可以提高DLC涂层的硬度。DLC涂层具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（1100GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的 弹性模量。

内应力和结合强度：薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能 的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC涂层容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落， 所以制备的DLC涂层应具有适中的压应力和较高的结合强度。

2、 摩擦性能
DLC涂层不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面 抗磨损改性膜。DLC 的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数可达 0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入 H 能提高润滑作用，环境也对摩擦 系数有一定的影响。

3、热稳定性
由于 DLC 属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC涂层应用的一个重要因素，在300摄氏度以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。

4、耐腐蚀性
纯DLC涂层具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。

DLC涂层表面一般较光洁，对基材的表面光洁度没有太大的影响，但随着膜厚的增加，表面光 洁度会下降。不同的沉积方法所得到的DLC涂层表面光洁度也是不同的，用离子源技术沉积的DLC涂层表面质量明显优于电弧离子镀。DLC涂层具有很好的抗粘结性，特别是对有色金属（如铜、铝、锌等），对塑料、橡胶、陶瓷等也有抗粘结性。